EAN13
9786131540257
Éditeur
Univ Européenne
Date de publication
14 février 2011
Collection
OMN.UNIV.EUROP.
Nombre de pages
220
Dimensions
22,9 x 15,2 x 1,3 cm
Poids
330 g
Langue
fre

Etude D'Un Modulateur Électro-Optique En Sige/Si

Cordat-A

Univ Européenne

Prix public : 69,00 €

Les travaux présentés participent au développement de composants optoélectroniques dans la lière silicium s''appuyant sur les procédés microélectroniques. Ils présentent l''étude d''un modulateur de lumière à la longueur d''onde de 1,3 microns, basé sur une structure de multipuits SiGe/Si à dopage modulé sur substrat silicium sur isolant. La structure est placée dans la région intrinsèque d''une jonction pin a n de contrôler la densité de trous dans les puits SiGe par l''application d''une tension inverse. La modulation optique est obtenue par la variation d''indice de réfraction des couches SiGe suivant la concentration de trous. L''écriture d''un outil de simulation exploité en plans d''expériences a permis de déterminer les in uences respectives des paramètres de la structure sur l''ef cacité du dispositif. Les étapes technologiques ont été validées sur des composants de test. Les mesures capacité-tension ont permis de remonter aux profils de trous dans la structure en cohérence avec la simulation numérique. La modulation optique a été mise en évidence par la mesure de la variation du coefficient de transmission du multicouche par l''application d''une tension.
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