EAN13
9786131584930
Éditeur
Univ Européenne
Date de publication
8 juillet 2011
Collection
OMN.UNIV.EUROP.
Nombre de pages
172
Dimensions
22,9 x 15,2 x 1 cm
Poids
262 g
Langue
fre

Microphone Électrodynamique Mems En Technologie Cmos

Tounsi-F

Univ Européenne

Prix public : 59,00 €

Les microsystèmes (MEMS - Micro-Electro-Mechanical Systems) sont des composants miniaturisés réunissant des fonctions électroniques, mécaniques et optiques sur la même puce. Les technologies microsystèmes conjuguent les techniques du pointe de la microélectronique des semi-conducteurs et les nouvelles techniques du micro-usinage, permettant ainsi la réalisation de systèmes entiers sur une puce (SoC - System on Chip). En plus, cette intégration permettra de miniaturiser le système, d'améliorer ses performances, d'augmenter la sensibilité et de diminuer le bruit grâce à la réduction de la taille des composants et par la suite les capacités parasites dues aux interconnexions. Dans ce cadre vient l'objectif de cette thèse qui a pour but de concevoir et réaliser une nouvelle génération de microphone monolithique de type électrodynamique, à base de bobines spirales planaires, réalisée en technologie standard complétée par un post process de micro-usinage en volume par la face avant.
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